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MEMS萍乡变器综合性能分析
作者:萍乡变压器厂 日期:2018-08-10 人气:730
MEMS萍乡变器综合性能分析
MEMS萍乡变器是基于 MEMS(微机电)技术,建立在微米/纳米基础上,在单晶硅片上刻融制作惠斯登电桥组成的硅应变计,这样制造的萍乡变器具有输出灵敏度高,性能稳定,批量可靠性、重复性好等优点。下面从萍乡变器的制作工艺、结构两方面分析一下MEMS萍乡变器综合性能。
先进的制作工艺
经500℃以上熔化玻璃,将硅应变片烧结在17-4PH不锈钢传感弹性体上,弹性体受变形后产生电信号,由带微处理器的补偿放大电路进行放大,经软件进行全补偿,输出标准信号。在标准净化生产过程中,参数严格受控,避免了、湿度及机械疲劳的影响,具有频响高、工作宽等特点,保证了萍乡变器在恶劣环境中使用的长期稳定性。
补偿电路将变化划分为若干小区间,每一个小区间的零位和补偿值都被分别写入补偿电路中,在使用中,这些值被写入受影响的模拟量输出路径中,每一个点都是该变送器的“校准”。
萍乡变器电路针对射频、电磁干扰、浪涌电的工况进行精心设计,具有抗干扰能强,供电范围宽、极性保护等特点。
可靠的结构
腔体采用进口17-4PH不锈钢整体加工,无"O"型圈、无焊缝,无泄漏隐患。萍乡变器过载能为200%FS,破坏为500%FS,适应高过载。针对液系统可能产生的瞬间突变,萍乡变器内置阻尼保护装置,能有效抵御瞬间冲击。
因此,MEMS萍乡变器具有输出灵敏度高、性能稳定、体积小巧、环境适应性强、重复性好等综合性能,这也是它广泛应用于各领域的基本原因。
先进的制作工艺
经500℃以上熔化玻璃,将硅应变片烧结在17-4PH不锈钢传感弹性体上,弹性体受变形后产生电信号,由带微处理器的补偿放大电路进行放大,经软件进行全补偿,输出标准信号。在标准净化生产过程中,参数严格受控,避免了、湿度及机械疲劳的影响,具有频响高、工作宽等特点,保证了萍乡变器在恶劣环境中使用的长期稳定性。
补偿电路将变化划分为若干小区间,每一个小区间的零位和补偿值都被分别写入补偿电路中,在使用中,这些值被写入受影响的模拟量输出路径中,每一个点都是该变送器的“校准”。
萍乡变器电路针对射频、电磁干扰、浪涌电的工况进行精心设计,具有抗干扰能强,供电范围宽、极性保护等特点。
可靠的结构
腔体采用进口17-4PH不锈钢整体加工,无"O"型圈、无焊缝,无泄漏隐患。萍乡变器过载能为200%FS,破坏为500%FS,适应高过载。针对液系统可能产生的瞬间突变,萍乡变器内置阻尼保护装置,能有效抵御瞬间冲击。
因此,MEMS萍乡变器具有输出灵敏度高、性能稳定、体积小巧、环境适应性强、重复性好等综合性能,这也是它广泛应用于各领域的基本原因。
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